| Titel: | Erzeugung dünner funktionaler Schichten durch chemische Gasphasenabscheidung von Metallen mit Organometallkomplexen | Sprache: | Deutsch | Autor*in: | Moritz, Florian | GND-Schlagwörter: | Boride CVD-Verfahren |
Erscheinungsdatum: | 1999 | Tag der mündlichen Prüfung: | 1999-03-31 | URL: | https://ediss.sub.uni-hamburg.de/handle/ediss/134 | URN: | urn:nbn:de:gbv:18-311 | Dokumenttyp: | Dissertation | Betreuer*in: | Heck, Jürgen (Prof. Dr.) |
| Enthalten in den Sammlungen: | Elektronische Dissertationen und Habilitationen |
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| Datei | Beschreibung | Prüfsumme | Größe | Format | |
|---|---|---|---|---|---|
| Dissertation_gesamt.pdf | 1b4c642e2dc16061b2cb99215f7037d7 | 4.44 MB | Adobe PDF | Öffnen/Anzeigen |
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