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Hamburg, Carl von Ossietzky

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Dissertation zugänglich unter
URN: urn:nbn:de:gbv:18-311
URL: http://ediss.sub.uni-hamburg.de/volltexte/1999/31/


Erzeugung dünner funktionaler Schichten durch chemische Gasphasenabscheidung von Metallen mit Organometallkomplexen

Moritz, Florian

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SWD-Schlagwörter: Boride , CVD-Verfahren
Basisklassifikation: 35.43 , 35.18
Institut: Chemie
DDC-Sachgruppe: Chemie
Dokumentart: Dissertation
Hauptberichter: Heck, Jürgen (Prof. Dr.)
Sprache: Deutsch
Tag der mündlichen Prüfung: 31.03.1999
Erstellungsjahr: 1999
Publikationsdatum: 01.01.1999

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